泵吸式SiH4气体检测仪报警仪
燃烧产物为粉状氧化硅和水,火焰温度较低,在氩气中含3%硅烷时为500-600℃。常温下稳定,在300℃开始分解,600℃时分解加速,1000℃时完全分解成硅和氢。
SiH4 → Si + 2H2
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SiH4 → Si + 2H2